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掃描電鏡等離子清洗機

    CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
  1. 詳細信息

圖片5.jpg


產品特點

雙等離子清洗源

一機多用

高效低損傷

 

技術參數

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調,自動匹配器

氣體控制

標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min 

質量保證

二年質保,終身維護


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