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透射電鏡樣品桿清洗機

    CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計,自動切換,一機多用,清洗快速高效。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗功能。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
  1. 詳細信息


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產品特點

雙等離子清洗源

一機多用

快速高效低損傷

 

技術參數

產品型號

CIF-TEM

真空泵

Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵

z大入口壓力:1.0個大氣壓(0psig),z大出口壓力:1.4個大氣壓(6.5psig)

z高抽速:60L/min,j限真空:3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口

等離子電源

13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-100W可調

兩種等離子體清洗源,原位等離子源和遠程等離子源,自動匹配器

清洗室

清洗室尺寸(長X寬X高):150x150x150mm

清洗數量

可同時清洗3支TEM樣品桿

適配品牌

Thermo Fisher(FEI)、日立Hitachi、捷歐路JEOL

氣體控制

標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源

220V,50/60Hz,300W

質量保證

二年質保,終身維護



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