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紫外臭氧清洗機

    紫外臭氧清洗機(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機污染物。
  1. 詳細信息

CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調并可選配加熱控溫功能,以達到z佳清洗效果。

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                                                                           按鍵式紫外臭氧清洗機

 

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                                                                         觸屏式紫外臭氧清洗機

產品特點

UVO基礎型采用可編程數字控制器,設置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。

自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

可隨時手動中斷處理過程。

自動記錄之前清洗參數設置。

樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。

頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式,操作簡單方便。

上置式樣品臺設計,360度自由放置樣品,操作方便。

樣品臺高度可調,通過調節燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。

高強度UV燈源,波長185nm和254nm。

UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

雙重安全保護,當清洗腔打開時,系統安全鎖會關掉UV燈,并有燈光通斷提示。

帶進&出氣口雙氣路設計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產量。

UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器,用于臭氧清除。

可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

技術參數

產品型號

UV燈尺寸cm

樣品臺高度cm

主機重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

5cm內可調

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

5cm內可調

12.5

60x50x20

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm內可調

18.5

70x60x20

注: UVO基礎型樣品臺不帶加熱功能,樣品臺高度可調UVOP可選配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調

UVOT標配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調


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